伺服減速機(jī)是行業(yè)內(nèi)對(duì)行星減速機(jī)的另一種稱呼。它的主要傳動(dòng)結(jié)構(gòu)為：行星輪，太陽(yáng)輪，內(nèi)齒圈。相對(duì)其他減速機(jī)，伺服減速機(jī)具有高剛性、高精度(單級(jí)可做到1分以內(nèi))、高傳動(dòng)效率(單級(jí)在97%-98%)、高的扭矩/體積比、終身免維護(hù)等特點(diǎn)。多數(shù)是安裝在步進(jìn)電機(jī)和伺服電機(jī)上，用來降低轉(zhuǎn)速，提升扭矩，匹配慣量。其齒輪材料熱處理方式主要有以下幾種：

　　1、表面淬火

　　常見的表面淬火方法有高頻淬火(對(duì)小尺寸齒輪)和火焰淬火(對(duì)大尺寸齒輪)兩種。表面淬火的淬硬層包括齒根底部時(shí)，其效果不錯(cuò)。表面淬火常用材料為碳的質(zhì)量分?jǐn)?shù)約0.35%~0.5%的鋼材，齒面硬度可達(dá)45~55HRC。

　　2、滲碳淬火

　　滲碳淬火齒輪具有相對(duì)最大的承載能力，但必須采用精加工工序(磨齒)來消除熱處理變形，以保證精度。

　　滲碳淬火齒輪常用滲碳前碳的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為0.2%~0.3%的合金鋼，其齒面硬度常在58%~62%HRC的范圍內(nèi)。若低于57HRC時(shí)，齒面強(qiáng)度顯著下降，高于62HRC時(shí)則脆性增加。輪齒心部硬度一般以310~330HBW為宜。滲碳淬火齒輪的硬度，從輪齒表面至深層應(yīng)逐漸降低，而有效滲碳深度規(guī)定為表面至深層應(yīng)逐漸降低，而有效滲碳深度規(guī)定為表面至硬度52.5HRC處的深度。

　　滲碳淬火在輪齒彎曲疲勞強(qiáng)度方面的作用除使心部硬度有所提高外，還在于有表面的殘余壓應(yīng)力，它可使輪齒最大拉應(yīng)力區(qū)的應(yīng)力減小。因此磨齒時(shí)不能磨齒根部分，滾齒時(shí)要用留磨量滾刀。

　　3、滲氮

　　采用滲氮可保證輪齒在變形最小的條件下達(dá)到很高的齒面硬度和耐磨性，熱處理后可不再進(jìn)行最后的精加工，提高了承載能力。這對(duì)于不易磨齒的內(nèi)齒輪來說，具有特殊意義。

　　4、想嚙合齒輪的硬度組合

　　當(dāng)大、小齒輪均為軟齒面時(shí)，小齒輪的齒面硬度應(yīng)高于大齒輪。而當(dāng)兩輪均為硬齒面且硬度較高時(shí)，則取兩輪硬度相同。

　　選擇好的伺服減速機(jī)熱處理材料，有利于提高伺服減速機(jī)的承載力及使用壽命。